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第五屆電子行業超純水制備與污水再生利用技術研讨會圓滿舉辦

bevictor伟德官网2023年11月7日電（通訊員 巫寅虎）11月5日，由中國環境科學學會水處理與回用專業委員會（以下簡稱“專業委員會”）和bevictor伟德官网聯合主辦的第五屆電子行業超純水制備與污水再生利用技術研讨會在北京成功舉辦。

會議合影

會議現場

專業委員會主任、bevictor伟德官网教授胡洪營主持開幕式并緻辭。來自芯片和面闆制造廠商、電子級超純水制備廠商、電子行業設計研究院、國家工業和信息化部電子第五研究所和bevictor伟德官网的專家學者60餘人參加了會議。

胡洪營緻辭

電子級超純水是半導體制造的基礎性生産物料，在産品清洗和蝕刻中發揮重要作用，用量極大。随着我國先進制造産業自主化發展，半導體的産能和制程将持續提升，中國大陸半導體制造業對超純水的年需求量已達數億立方米。半導體芯片和顯示面闆制造業還會産生大量組分複雜、濃度高、處理難的污水。随着我國水生态環境保護要求不斷提高，對高效低耗的污水處理與循環利用技術與工藝的需求持續增加。電子級超純水制備與污水再生利用，是支撐半導體制造業産能提升、芯片制程突破和行業高質量可持續發展的重要保障。

為促進電子行業超純水制備和污水再生利用領域的産學研交流，自2020年以來，專業委員會分别在西安、蘇州、桂林和上海以全國水處理與循環利用學術會議分會場的形式舉辦了4屆技術研讨會，圍繞電子行業超純水制備和污水再生利用進行了深度交流研讨。

在前4屆技術研讨會成功舉辦的基礎上，本次研讨會設置了電子級純水制備技術與工藝和電子行業污水再生利用技術與工藝2個研讨主題，共邀請了12位知名專家學者作主題報告。報告内容涉及本領域的前沿科學問題、關鍵技術、工程實踐和政策管理等多個方面，實現了從電子級純水制備—終端用戶使用—污水再生處理與循環利用的全鍊條覆蓋。

主要報告内容

國家工業和信息化部電子第五研究所楊本曉主任作了“國家工業廢水循環利用政策解讀”報告，介紹了工業廢水循環利用相關國家要求、标準體系和典型節水企業案例等。

作為電子級超純水的終端用戶，北方集成電路技術創新中心（北京）有限公司主任工程師王宸作了“半導體超純水系統設備材料國産化驗證平台的介紹”專題報告。驗證平台涉及前處理、制程、抛光等電子級超純水制備全流程，涵蓋設備、耗材、儀表、加藥等全材料，驗證功能齊全，驗證方式靈活，覆蓋終端用戶對電子級超純水的使用要求，為推動半導體超純水系統設備材料國産化替代提供堅實平台。

作為本領域知名設計院代表，中國電子技術标準化研究院電子工程标準定額站總工程師杜寶強、北京市市政工程設計研究總院有限公司副總工程師楊京生、世源科技工程有限公司事業部總經理王鵬、中國市政工程中南設計研究總院有限公司總工程師助理劉可分别作了“‘十四五’電子行業水系統标準體系建設”“‘亦莊模式’-電子行業污水再生利用技術的實踐與思考”“電子行業純廢水技術、産品研發的建議”“高排放标準半導體廢水深度處理工藝探索”的專題報告。

作為行業知名系統服務商代表，江蘇中電創新環境科技有限公司副總經理熊江磊作了“電子行業低碳水系統行動與思考”的專題報告。

作為行業知名設備/工藝廠商代表，沃頓科技股份有限公司技術服務總監王思亮、西安藍曉科技新材料股份有限公司應用技術部經理/高級工程師張力、Fluidsmile樂富意得（上海）流體技術有限公司總經理王濤分别作了“沃頓超純水用反滲透膜的應用進展”、“電子級超純水用均粒樹脂應用性能及國産化進程”、“中壓紫外技術在超純水工藝應用中的技術優勢”的專題報告，介紹了反滲透膜材料和膜組件、樹脂、紫外等超純水制備關鍵材料、核心設備的市場現狀、應用效果和代表案例。

來自bevictor伟德官网深圳國際研究生院的王文龍副教授和bevictor伟德官网的王琦博士分别作了“電子超純水制備有機碳高标準處理挑戰與技術需求”“超純水中尿素的氯/紫外線協同去除技術”的專題報告，介紹了反滲透産水中微量有機物的檢測與高效去除技術研發進展。

上述報告系統闡述了電子行業超純水制備與污水再生利用領域的科學問題、關鍵技術、核心設備、标準體系等方面的現狀與未來發展趨勢，引起了參會代表的廣泛關注。與會代表踴躍提問、積極發言，圍繞該領域的前沿和熱點問題進行了深入熱烈的探讨。